Mikroapstrādes tehnoloģija ir ļoti elastīgs process, kurā var ražot sarežģītas formas mikrokomponentus. Turklāt to var pielietot plašam materiālu klāstam. Tā pielāgojamība padara to īpaši piemērotu ātrai darbībai no idejas līdz prototipam, sarežģītu 3D struktūru ražošanai un iteratīvai produktu projektēšanai un izstrādei,
1. Fizikālās mikroapstrādes tehnoloģija
Lāzera staru apstrāde: apstrādes process, kurā izmanto lāzera staru vadīto siltumenerģiju, lai noņemtu materiālus no metāla vai nemetāla virsmām. Tas ir vairāk piemērots trausliem materiāliem ar zemu vadītspēju, taču to var izmantot lielākajai daļai materiālu.
Jonu staru apstrāde: svarīga netradicionāla ražošanas tehnoloģija mikro/nano ražošanā. Tas izmanto paātrināto jonu plūsmu vakuuma kamerā, lai noņemtu, pievienotu vai modificētu atomus uz objekta virsmas.
2. Ķīmiskās mikroapstrādes tehnoloģija
Reaktīvā jonu kodināšana (RIE): plazmas process, kurā vielas tiek ierosinātas ar RF izlādi, lai zemsprieguma kamerā kodinātu substrātus vai plēves. Tas ir sinerģisks ķīmiski aktīvo vielu un augstas enerģijas jonu bombardēšanas process.
Elektroķīmiskā apstrāde (ECM): metode metālu atdalīšanai ar elektroķīmiskiem procesiem. To parasti izmanto īpaši cietu materiālu vai materiālu, kurus ir grūti apstrādāt ar tradicionālām metodēm, liela mēroga ražošanai un apstrādei. Tās izmantošana ir ierobežota ar vadošiem materiāliem. ECM var griezt mazus vai neregulārus leņķus, sarežģītas kontūras vai dobumus cietos un retajos metālos.
3. Mehāniskās mikroapstrādes tehnoloģija
Dimanta virpošana: precīzu detaļu virpošanas vai apstrādes process ar virpu vai atvasinātu mašīnu, kas aprīkota ar dabīgā vai sintētiskā dimanta uzgaļu.
Dimanta frēzēšana: griešanas process, ko var izmantot, lai ģenerētu asfērisku lēcu bloku, izmantojot apļveida griešanu, izmantojot sfērisku dimanta instrumentu.
Precīza slīpēšana: abrazīvā apstrāde, kas ļauj apstrādāt sagatavi līdz smalkai virsmas apdarei un ar ļoti tuvu pielaidi 0.0001".
Pulēšana: abrazīvā apstrāde, pulēšana ar argona jonu staru ir diezgan stabils process, ko izmanto teleskopu spoguļu apdarei un mehāniskās pulēšanas vai dimanta virpošanas optisko ierīču atlikušo kļūdu labošanai. MRF process ir pirmais deterministiskais pulēšanas process. Komercializēts un izmantots asfērisko lēcu, atstarotāju u.c. ražošanā.
